日前，FEI公司获得了一项名为“用于基于RF脉冲电子束的STEM的系统和方法”的专利，授权公告号为CN114068268B，此项专利的申请日期为2021年8月。该技术的获得不仅标志着FEI在科学仪器领域的持续创新，也为材料科学、半导体制造及纳米技术等多个行业带来了新的机遇。